Canon недавно отправила свой первый образец оборудования для наноимпринт-литографии в исследовательский консорциум в США, сделав важный шаг к коммерциализации этой перспективной технологии чипов. Эта машина способна производить микросхемы без использования дорогостоящих и энергоемких процессов традиционной литографии (DUV или EUV), что может значительно повлиять на индустрию полупроводников.
Оборудование было доставлено в Техасский институт электроники (TIE), который поддерживается Университетом Техаса в Остине и включает такие компании, как Intel. В проекте также участвуют государственные агентства и академические учреждения. В отличие от традиционной фотолитографии, где схемы наносятся на пластину с помощью света, наноимпринт-литография Canon использует физическое штампование рисунков на смоле. Это позволяет значительно сократить затраты и снизить энергопотребление, так как конструкция машин Canon требует лишь около 10% от той мощности, которую обычно потребляет фотолитографическое оборудование.
Кроме того, наноимпринт-литография дает возможность создавать сложные 3D-схемы за одно действие, что сложно или невозможно сделать с помощью фотолитографии. Эта особенность может оказаться полезной, так как чипмейкеры продолжают упаковывать всё более мелкие и сложные схемы в свои продукты.
Однако, как отмечают эксперты, перед широким внедрением этой технологии остаются определённые трудности, например, необходимость устранения дефектов из-за пыли. Потребуются также партнёрства с другими компаниями для разработки совместимых материалов. Несмотря на это, поставка первой машины намекает на потенциальные перемены в индустрии чипов. По словам заместителя генерального директора Canon по оптическим продуктам Казунори Ивамото, компания планирует продавать до 20 таких машин ежегодно в ближайшие несколько лет.
Сотрудничество консорциума TIE с Canon демонстрирует готовность таких компаний, как Intel, NXP и Samsung, рассмотреть нанопечать в качестве перспективной технологии для будущего производства микросхем, что может значительно изменить рынок.
