Intel Foundry сообщила о важной вехе в развитии полупроводниковой отрасли: компания первой начала массовое производство и поставки коммерческих логических микросхем, изготовленных с применением технологии High NA EUV. Новая литография с высокой числовой апертурой считается следующим этапом развития EUV-производства и позволит создавать еще более компактные и производительные чипы.
Первыми процессорами, выпускаемыми с использованием новой технологии, стали отдельные представители семейства Intel Core Ultra Series 3 (Panther Lake), основанные на техпроцессе Intel 18A. Как отмечает компания, отдельные слои этих микросхем уже успешно производятся на оборудовании ASML High NA EUV, при этом уровень выхода годных кристаллов сопоставим с существующей платформой EUV предыдущего поколения.
Переход к коммерческому производству стал результатом многолетнего сотрудничества Intel и ASML. Еще в 2024 году Intel первой установила коммерческую систему High NA EUV на своем предприятии в Орегоне, а затем начала эксплуатацию новейшей установки TWINSCAN EXE:5200B, отличающейся более высокой производительностью и точностью.
High NA EUV обеспечивает более высокое разрешение при формировании элементов микросхем, позволяя размещать транзисторы плотнее и создавать более сложные полупроводниковые структуры. Это особенно важно для будущих поколений процессоров, ориентированных на высокопроизводительные вычисления и системы искусственного интеллекта.
В Intel подчеркивают, что пока технология используется лишь на отдельных слоях чипов Panther Lake. Такой подход позволяет одновременно выпускать коммерческую продукцию и собирать производственные данные для дальнейшей оптимизации оборудования, повышения стабильности работы и подготовки к более широкому внедрению High NA EUV в следующих технологических узлах.
Компания считает этот этап началом полноценного перехода литографии нового поколения из экспериментальной стадии в промышленное производство. Полученный опыт должен ускорить внедрение High NA EUV в будущие поколения процессоров и укрепить позиции Intel в гонке за выпуск самых современных полупроводников.
